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卓上走査型電子顕微鏡のラインナップ
■最上位機種proXは、元素分析用エネルギー分散型X線分析装置(EDS)を内蔵しています。
■検出器をペルチェ素子で冷却するので液体窒素を必要としません。
■点分析、線分析、マッピングができます。
■自動画像マッピング機能と遠隔操作機能が標準で含まれています。
■オプションで3Dラフネスソフトウエアとファイバーメトリックソフトウエアがあります。
■光学顕微鏡で試料の全体像を見て、観察したいところを探せます。
■タッチパネル式ディスプレイにタッチして観察位置を指定できます。
■自動ステージが観察したいところへ移動します。
■CeB6電子銃は、タングステンフィラメントの電子銃より輝度が高く、細い電子ビームを出すので、高い分解能で高画質のSEM像が得られます。
■寿命は1,000時間以上です。
■帯電しやすい試料や水分を含んだ試料を前処理なしでそのまま観察できます。
■コーティングしないので試料の表面の組成分布の観察や元素分析が可能です。
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